Etter hvert som den globale halvlederprosessen beveger seg mot avanserte noder på 3nm/2nm, oppgraderes presisjons titanmaterialer (ASTM B265/B348, Grade 1/2/5 high-titanium og titanlegeringer) fra «hjelpematerialer» til viktige strategiske materialer for halvledere, som for eksempel{8} renhet, ultra-lave urenheter, sterk termisk stabilitet, korrosjonsmotstand og ikke-magnetiske egenskaper. Markedets oppmerksomhet og etterspørsel øker synkront.
Kjernedriver: Avanserte prosesser fremtvinger materialoppgraderinger
Avanserte halvlederprosesser (5nm og lavere) krever tre store, harde kjernekrav for materialer: nanometernivåpresisjon, atomnivårenhet og ekstrem miljøstabilitet:
-Titanmålmateriale med høy renhet (grad 1, renhet Større enn eller lik 99,999 %/5N): PVD-forstøvningskjernemateriale, brukt for kobberforbindelsesbarrierelag, kontaktplugg, for å forhindre at kobberatomdiffusjon forurenser silisiumskiver, direkte bestemmer chiputbyttet og ytelsen til hele chipen og ytelsen 130-n.
-Presisjonsstrukturelle komponenter (grad 2/5): litografimaskinarbeidsbord, etsemaskinkammer, vakuumflens, wafer-robotarm osv., med en lav termisk ekspansjonskoeffisient (8,6 × 10 ⁻⁶/grad ) og en temperatursvingningsdeformasjon på bare 1/3 av en posisjonsnøyaktighet, en luminometer.
-Korrosjonsbestandige komponenter (grad 7): Motstandsdyktig mot sterk syre/halogen-korrosjon i våtetse- og rengjøringsutstyr, uten metallutfellingsforurensning, egnet for ekstreme arbeidsforhold med høyt vakuum og sterkt plasma.
Kjernefordelene med amerikansk standard titanmaterialer
1. Ultra høy renhet+ultra-lav urenheter: Amerikansk standard grad 1 titan med høy-renhet med kontrollerbare oksygen/nitrogen/karbon urenheter<50ppm, no heavy metal pollution such as iron and nickel, meets SEMI F42 standards, and is suitable for advanced process atomic level cleanliness requirements.
2. Termisk stabilitet+dimensjonal presisjon: lav varmeledningsevne (21,9W/(m · K)), liten termisk ekspansjonskoeffisient, toleranse opp til ± 0,005 mm, overflatejevnhet Ra Mindre enn eller lik 0,4 μm, egnet for montering i nanoskala og vakuumforsegling.
3. Korrosjonsmotstand+ikke-magnetisk+lav gassfrigjøring: naturlig oksidlag selv-helbredende, motstandsdyktig mot Cl ₂/F ₂/sterk syrekorrosjon; Ikke magnetisk og ikke forstyrrende presisjonskretser; Luftutløsningshastigheten er ekstremt lav under ultra-høyt vakuum (UHV), noe som sikrer renslighet i kammeret.
4. Lett og høy styrke: Tetthet på 4,51 g/cm ³ (40 % lettere enn rustfritt stål), strekkstyrke av klasse 5 Større enn eller lik 930 MPa, spesifikk styrke dobbelt så stor som rustfritt stål, egnet for lettvektskravene til bevegelige deler med høy-hastighet.
Kjerneapplikasjonsscenarier
-Titanmålmateriale med høy renhet (grad 1): PVD-forstøvningsavsetning, brukt for logikk/lagringsbrikkebarrierelag og klebelag, med en global markedsstørrelse på 1,87 milliarder amerikanske dollar i 2024 og en CAGR på 9,3 % fra 2026 til 2030.
-Vakuumkammer/-flens (grad 2): Vakuumsystem for etse- og avsetningsutstyr, motstandsdyktig mot høyt trykk, lav gassutslipp og pålitelig forsegling.
-Presisjonsrobotarm/endeeffektor (grad 5): waferoverføring, lett og høy-styrke, presis posisjonering og ingen partikkelavgivelse.
-Korrosjonsbestandig fôr/feste (klasse 7): Våt prosessutstyr, motstandsdyktig mot sterke syrer som HF/HCl, forlenger utstyrets levetid og reduserer vedlikeholdskostnadene.
Markedstrend: innenlandsk substitusjon+teknologisk gjennombrudd
Utvidelsen av den globale halvlederkapasiteten (spesielt på det kinesiske fastlandet) har drevet den raske veksten i etterspørselen etter presise titanmaterialer. I 2023 vil markedsstørrelsen på Kinas titanpresisjonsdeler for halvledere overstige 3 milliarder yuan, med en årlig vekstrate på mer enn 25 %. Stabil masseproduksjon av amerikansk standard Grade 1/2/5 presisjonstitanmaterialer (inkludert 0,05 mm ultra-tynn titanfolie, målmaterialer med høy{10}}renhet og presisjonsstrukturelle komponenter) har blitt oppnådd, med toleranser og renhet som har nådd internasjonale avanserte nivåer, noe som hjelper halvlederindustrien til å være uavhengig kontrollerbar.
Under avanserte prosesser og innenlands erstatning av dobbelthjulsdrift, har presisjons titanmaterialer som oppfyller amerikanske standarder blitt kjernestøtten for oppgradering av halvlederindustrien. I fremtiden vil de fortsette å bryte gjennom mot høyere renhet (6N), tynnere spesifikasjoner (mindre enn eller lik 0,05 mm) og mer presis maskinering (± 0,002 mm).
Be om et tilbud
E-post:bjcxtitanium@gmail.com
Whatsapp:+8613571718779
